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    2. 手機:13823353625 程生

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      新聞中心
      離子束刻蝕機15302620823
      時間:2020/9/17 4:34:00 來源: 作者: 點擊: 次

      1. 該系統是一臺高真空單室離子束刻蝕系統,離子束刻蝕是利用低能量平行Ar+離子束對基片表面進行轟擊,將基片表面未覆蓋掩膜的部分濺射出,從而達到選擇刻蝕的目的主要用來金屬、合金、氧化物、化合物、混合材料、半導體、絕緣體、超導體等材料的刻蝕。系統主要由刻蝕室、考夫曼離子源及電源、水冷樣品轉臺、泵抽系統、真空測量系統、氣路系統、電控系統等組成。。

      2. 濺射室極限真空度:≤6.6x10-5Pa (經烘烤除氣后);

      真空獲得采用FF160/600任意角度安裝脂潤滑分子泵和優質機械泵(8L/S)+CF150手動插班閥,此配置具有抽速快,可獲得高真空環境,提供薄膜的潔凈度。

      系統真空檢漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S;

      系統從大氣開始抽氣:濺射室40分鐘可達到6.6x10-4 Pa;

      系統停泵關機12小時后真空度:≤5Pa

      3. 刻蝕室中配有1套國產80mm考夫曼離子源。

      4. 樣品臺布置在真空室下部,可放置最大50.8×50.8mm樣品3片,樣品臺可旋轉角度。

      5. 真空測量采用國產復合真空計進行測量。

      6. 系統配有一路國產MFC控制進氣系統(Ar),流量分別為100SCCM。

      7. 鍍膜工藝壓力控制采用手動插板閥+MFC控制,保證鍍膜鍍膜工藝具有較高的可靠性、穩定性和重復性。

      8. 系統配有1臺考夫曼離子源電源。

      一、系統功能及構成

      該系統為單室結構,主要由濺射真空室、離子源、水冷基片臺、離子源電源、工作氣路、真空獲得系統、安裝機臺、真空測量、水冷卻及報警系統和控制系統等部分組成,可用于金屬薄膜、介質膜等的刻蝕。

      二、系統的主要組成及技術指標

      濺射室極限真空度:≤6.6x10-5Pa(經烘烤除氣后);

      系統真空檢漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S;

      系統從大氣開始抽氣:濺射室40分鐘可達到6.6x10-4 Pa;

      系統停泵關機12小時后真空度:≤5Pa;

      1 、濺射真空室 1套

      真空室為D形前開門結構,約為尺寸Ф420mmx450mm,全不銹鋼結構?蓛群婵镜100~150℃,選用不銹鋼材料制造,氬弧焊接,表面進行電化學拋光國內首家鈍化處理,接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封;手動前開門結構;靶安裝在下蓋板,基片轉臺在上法蘭。

      真空室組件上焊有各種規格的法蘭接口如下:

      1.1、 RF100法蘭接口:1個(觀察窗口);

      1.2、CF16法蘭接口:2個(1路進氣管路、放氣閥);

      1.3、CF150法蘭接口:1個(接分子泵);

      1.4、上法蘭接口:1個(用來安裝磁控靶和靶擋板)

      1.5、RF100法蘭接口:1個(用來安裝樣品臺)

      1.6、CF35法蘭接口:4個(接高真空電離規管、旁抽口、陶封引線,離子源);

      1.7、CF16法蘭接口:3個;

      1.8、考夫曼離子源接口:1套

      2 、考夫曼離子源 1套

      2.1、引出柵直徑:Φ80mm;

      2.2、最大離子束能量:1200ev;

      2.3、離子流密度:1~5mA/cm2;

      2.4、最大束流:120mA;

      2.5、常規工作束流100mA

      2.6、工作真空度:1.5×10-2Pa;

      2.7、工作方式:離子源與直接或成角度對準樣品臺;

      2.8、離子源安裝在真空室頂部。

      3、水冷基片臺 1套

      3.1 基片尺寸和數量:50.8×50.8mm樣品一次放置3片。

      3.3、 基片臺通水冷卻;

      3.4、 基片臺可手動調整角度;

      4、窗口及法蘭接口部件 1套

      4.1、RF100玻璃窗口:1塊;

      4.2、CF35陶瓷封接引線法蘭:1個(照明及內烘烤引線);

      4.3、盲法蘭:CF16:1個;CF35:1個。

      5、水冷裝置 1套

      水冷裝置在真空室下法蘭上,對基片托板進行水冷;

      6、工作氣路 1套

      7.1、100SCCM、50SCCM質量流量控制器(國產)、CF16電動截止閥、管路、接頭等:共2路

      7.2 DN16手動充氣閥、管路、接頭等:2路(國產);

      7、抽氣機組及閥門、管道 1套

      7.1、脂潤滑復合分子泵及控制電源:1臺(FF160/600 600L/S北京);

      8.3、 機械泵:8L/S(飛越)

      8.4、 DN40氣動截止閥:1臺(北京);

      8.4、 機械泵與真空室之間的旁抽管路:1套;

      8.5、 CC150手動閘板閥:1臺(用于復合分子泵與真空室隔離);

      8.3、 DN40氣動旁抽角閥:1臺(北京);

      8.4、 壓差式充氣閥:1臺(上海);

      9、安裝機臺架組件 1套

      優質方鋼型材焊接成,快卸圍板表面噴塑處理;機臺表面用不銹鋼蒙皮裝飾;四只腳輪,可固定,可移動。

      10、真空測量 1套

      濺射室采用國產ZDF5227復合真空計進行測量。

      11、備品備件 1套

      《產品配置清單》

      序號 名稱 參數 數量

      1 高真空不銹鋼腔室 約Φ420mm×450mm 1套

      2 腔體防污內襯 1套

      3 觀察窗及法蘭 RF100配襯玻璃防污 1套

      4 腔室照明 1只

      5 旋轉基片工裝 基片臺 1套

      6 電機及電源 1套

      7 基片臺水冷系統 1套

      8 分子泵 600L/s 1套

      11 機械泵 1套

      12 手動插板閥 CC-150 1臺

      13 旁抽閥 DF40 1臺

      14 截止閥 DF40 1臺

      15 電磁充氣閥 DF40 1臺

      16 電磁截止閥 DN6 1支

      17 氣動截止閥 DN16 1支

      18 真空抽氣管道 不銹鋼三通及波紋管 2臺

      19 真空計 ZDF-5227 1個

      20 離子源 8cm 1臺

      21 離子源電源 1臺

      22 質量流量控制器 量程0-100SCCM 1路

      23 控溫電源系統 1套

      24 控制電源 1臺

      25 總控制電源 1臺

      26 水管、變通、接嘴、不銹鋼球閥、氣路卡套、管接頭 不銹鋼材質,配套合理管路 1套

      27 氣管、變通、接頭氣體管道 金屬管 1套

      28 安裝機架 表面噴塑、配腳輪、配門 1臺

      29 密封、連接件及其附件 金屬密封(靜密封)+氟膠圈密封

      30 氟橡膠密封圈 相應規格的泵、閥、管路、各軸封處易損密封圈

      31 無氧銅墊圈 1批

      32 螺栓、螺母、墊圈、螺釘等標準件 1套

      三、設備安裝條件要求

      l 1、供電電源:三相380V,50Hz,25A空開

      l 2、接地(Ground);

      l 系統接地:3Ω以下線徑14mm2×1

      l 3、設備外形尺寸;1300*1200*1800

      l 4、冷卻水(Cooling water):

      l 壓力:1.5~2kg/cm2,進出水口壓力差1kg/cm2以上

      l 流速:25~30L/M過濾軟水

      l 溫度:20~22℃

      l 水質:過濾軟水

      l 接頭規格:1”PT內牙×2

      四、技術服務及質量保證

      1 、按ISO9001質量管理體系組織設計、加工、裝調、檢驗、包裝、運輸;

      2 、提供該設備的技術使用說明書及外購配件儀器儀表說明書;

      3 、在甲方現場驗收后,一年內免費維修正常使用出現的故障,非正常的故障維修只核收工本費,終身維修只核收工本費;

      五、培訓

      1、培訓時間:1周

      培訓人數:2~3人

      2、培訓內容及要求:

      1)、了解設備的工作原理、組成及各部組件、控制系統的工作原理和使用方法;

      2)熟練掌握整套系統的操作規程;

      3)能夠對設備的一般故障進行診斷和簡單維修,進行易損件的更換;

      4)對設備能夠進行日常的維護和保養。

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