1. 該系統是一臺高真空單室離子束刻蝕系統，離子束刻蝕是利用低能量平行Ar+離子束對基片表面進行轟擊，將基片表面未覆蓋掩膜的部分濺射出，從而達到選擇刻蝕的目的主要用來金屬、合金、氧化物、化合物、混合材料、半導體、絕緣體、超導體等材料的刻蝕。系統主要由刻蝕室、考夫曼離子源及電源、水冷樣品轉臺、泵抽系統、真空測量系統、氣路系統、電控系統等組成。。

2. 濺射室極限真空度：≤6.6x10-5Pa (經烘烤除氣后)；

真空獲得采用FF160/600任意角度安裝脂潤滑分子泵和優質機械泵（8L/S）+CF150手動插班閥，此配置具有抽速快，可獲得高真空環境，提供薄膜的潔凈度。

系統真空檢漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；

系統從大氣開始抽氣：濺射室40分鐘可達到6.6x10-4 Pa；

系統停泵關機12小時后真空度：≤5Pa

3. 刻蝕室中配有1套國產80mm考夫曼離子源。

4. 樣品臺布置在真空室下部，可放置最大50.8×50.8mm樣品3片，樣品臺可旋轉角度。

5. 真空測量采用國產復合真空計進行測量。

6. 系統配有一路國產MFC控制進氣系統（Ar），流量分別為100SCCM。

7. 鍍膜工藝壓力控制采用手動插板閥+MFC控制，保證鍍膜鍍膜工藝具有較高的可靠性、穩定性和重復性。

8. 系統配有1臺考夫曼離子源電源。

一、系統功能及構成

該系統為單室結構，主要由濺射真空室、離子源、水冷基片臺、離子源電源、工作氣路、真空獲得系統、安裝機臺、真空測量、水冷卻及報警系統和控制系統等部分組成，可用于金屬薄膜、介質膜等的刻蝕。

二、系統的主要組成及技術指標

濺射室極限真空度：≤6.6x10-5Pa(經烘烤除氣后)；

系統真空檢漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；

系統從大氣開始抽氣：濺射室40分鐘可達到6.6x10-4 Pa；

系統停泵關機12小時后真空度：≤5Pa；

1 、濺射真空室 1套

真空室為D形前開門結構，約為尺寸Ф420mmx450mm，全不銹鋼結構�？蓛群婵镜�100～150℃，選用不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面進行電化學拋光國內首家鈍化處理，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封；手動前開門結構；靶安裝在下蓋板，基片轉臺在上法蘭。

真空室組件上焊有各種規格的法蘭接口如下：

1.1、 RF100法蘭接口：1個（觀察窗口）；

1.2、CF16法蘭接口：2個（1路進氣管路、放氣閥）；

1.3、CF150法蘭接口：1個（接分子泵）；

1.4、上法蘭接口：1個（用來安裝磁控靶和靶擋板）

1.5、RF100法蘭接口：1個（用來安裝樣品臺）

1.6、CF35法蘭接口：4個(接高真空電離規管、旁抽口、陶封引線,離子源)；

1.7、CF16法蘭接口：3個；

1.8、考夫曼離子源接口：1套

2 、考夫曼離子源 1套

2.1、引出柵直徑：Φ80mm；

2.2、最大離子束能量：1200ev；

2.3、離子流密度：1～5mA/cm2；

2.4、最大束流：120mA；

2.5、常規工作束流100mA

2.6、工作真空度：1.5×10-2Pa；

2.7、工作方式：離子源與直接或成角度對準樣品臺；

2.8、離子源安裝在真空室頂部。

3、水冷基片臺 1套

3.1 基片尺寸和數量：50.8×50.8mm樣品一次放置3片。

3.3、 基片臺通水冷卻；

3.4、 基片臺可手動調整角度；

4、窗口及法蘭接口部件 1套

4.1、RF100玻璃窗口：1塊；

4.2、CF35陶瓷封接引線法蘭：1個（照明及內烘烤引線）；

4.3、盲法蘭：CF16：1個；CF35：1個。

5、水冷裝置 1套

水冷裝置在真空室下法蘭上，對基片托板進行水冷；

6、工作氣路 1套

7.1、100SCCM、50SCCM質量流量控制器（國產）、CF16電動截止閥、管路、接頭等：共2路

7.2 DN16手動充氣閥、管路、接頭等：2路（國產）；

7、抽氣機組及閥門、管道 1套

7.1、脂潤滑復合分子泵及控制電源：1臺（FF160/600 600L/S北京）；

8.3、 機械泵：8L/S（飛越）

8.4、 DN40氣動截止閥：1臺（北京）；

8.4、 機械泵與真空室之間的旁抽管路：1套；

8.5、 CC150手動閘板閥：1臺（用于復合分子泵與真空室隔離）；

8.3、 DN40氣動旁抽角閥：1臺（北京）；

8.4、 壓差式充氣閥：1臺（上海）；

9、安裝機臺架組件 1套

優質方鋼型材焊接成，快卸圍板表面噴塑處理；機臺表面用不銹鋼蒙皮裝飾；四只腳輪，可固定，可移動。

10、真空測量 1套

濺射室采用國產ZDF5227復合真空計進行測量。

11、備品備件 1套

《產品配置清單》

序號 名稱 參數 數量

1 高真空不銹鋼腔室 約Φ420mm×450mm 1套

2 腔體防污內襯 1套

3 觀察窗及法蘭 RF100配襯玻璃防污 1套

4 腔室照明 1只

5 旋轉基片工裝 基片臺 1套

6 電機及電源 1套

7 基片臺水冷系統 1套

8 分子泵 600L/s 1套

11 機械泵 1套

12 手動插板閥 CC-150 1臺

13 旁抽閥 DF40 1臺

14 截止閥 DF40 1臺

15 電磁充氣閥 DF40 1臺

16 電磁截止閥 DN6 1支

17 氣動截止閥 DN16 1支

18 真空抽氣管道 不銹鋼三通及波紋管 2臺

19 真空計 ZDF-5227 1個

20 離子源 8cm 1臺

21 離子源電源 1臺

22 質量流量控制器 量程0-100SCCM 1路

23 控溫電源系統 1套

24 控制電源 1臺

25 總控制電源 1臺

26 水管、變通、接嘴、不銹鋼球閥、氣路卡套、管接頭 不銹鋼材質,配套合理管路 1套

27 氣管、變通、接頭氣體管道 金屬管 1套

28 安裝機架 表面噴塑、配腳輪、配門 1臺

29 密封、連接件及其附件 金屬密封（靜密封）+氟膠圈密封

30 氟橡膠密封圈 相應規格的泵、閥、管路、各軸封處易損密封圈

31 無氧銅墊圈 1批

32 螺栓、螺母、墊圈、螺釘等標準件 1套

三、設備安裝條件要求

l 1、供電電源：三相380V，50Hz，25A空開

l 2、接地(Ground)；

l 系統接地:3Ω以下線徑14mm2×1

l 3、設備外形尺寸；1300*1200*1800

l 4、冷卻水(Cooling water):

l 壓力:1.5～2kg/cm2,進出水口壓力差1kg/cm2以上

l 流速:25～30L/M過濾軟水

l 溫度:20～22℃

l 水質:過濾軟水

l 接頭規格:1”PT內牙×2

四、技術服務及質量保證

1 、按ISO9001質量管理體系組織設計、加工、裝調、檢驗、包裝、運輸；

2 、提供該設備的技術使用說明書及外購配件儀器儀表說明書；

3 、在甲方現場驗收后，一年內免費維修正常使用出現的故障，非正常的故障維修只核收工本費，終身維修只核收工本費；

五、培訓

1、培訓時間：1周

培訓人數：2～3人

2、培訓內容及要求：

1）、了解設備的工作原理、組成及各部組件、控制系統的工作原理和使用方法；

2）熟練掌握整套系統的操作規程；

3）能夠對設備的一般故障進行診斷和簡單維修，進行易損件的更換；

4）對設備能夠進行日常的維護和保養。